近藤研究室
Publications
アミドネート1価Cu錯体を用いた超臨界流体中Cu堆積
Md Rasadujjaman, 渡邉満洋, 須藤弘, 町田英明, 近藤英一
応用物理学会シリコンテクノロジー分科会多層配線システム研究委員会第187回研究集会, 東京, 2016. 1/22.
BTA-H2O2溶液におけるCu表面のその場エリプソメトリ
川上達也, 近藤英一, 渡邉満洋, 濵田聡美, 嶋昇平, 檜山浩國
応用物理学会シリコンテクノロジー分科会多層配線システム研究委員会第187回研究集会, 東京, 2016. 1/22.
高密着性Cu/ガラス構造におけるZnO堆積手法の影響
渡邉満洋, 小池光海, 近藤英一
表面技術協会第131回講演大会, 神奈川, 2015. 3/4−6.
超臨界CO2流体中における金属薄膜のエッチング
中村良樹, 渡邉満洋, 近藤英一, ミハイルバクラノフ
第62回応用物理学会春季学術講演会, 神奈川, 2015. 3/11−14.
粘菌を利用した金属微粒子配列
山口博樹, 望月裕文, 渡邉満洋, 近藤英一
第62回応用物理学会春季学術講演会, 神奈川, 2015. 3/11−14.
ウェハーレベル超臨界流体堆積装置の開発
栗田修平, 近藤英一, 植野隆大, 竹内裕人, 渡邉満洋, 山本敏, 末益龍夫
化学工学会第80年会, 東京, 2015. 3/19−21.
超臨界流体を用いたZnO薄膜の堆積とそれを用いたCu/ガラス構造の高密着化
渡邉満洋, 爲國成昭, 近藤英一
日本機械学会関東支部第21期総会講演会, 神奈川, 2015. 3/20−21.
粘菌のネットワーク解探索機能の配線・流路構造への利用の提案
山口博樹, 渡邉満洋, 近藤英一
日本機械学会関東支部第21期総会講演会, 神奈川, 2015. 3/20−21.
高密着性Cu/ガラス構造の常温形成
渡邉満洋, 近藤英一
2015マイクロエレクトロニクスショー アカデミックプラザ, 東京, 2015. 6/3−5.
埋め込み型触媒上のナノカーボン初期成長過程の観察
爲國成昭, 鈴木和弥, 渡邉満洋, 近藤英一, 大久保総一郎, 日方威, 中山明
表面技術協会第132回講演大会, 長野, 2015. 9/9−10.
高密着性Cu/ガラス構造の常温形成
渡邉満洋, 近藤英一
2015年度第2回TSV応用研究会, 東京, 2015. 9/16.
Znドープと貴金属触媒効果による拡散加速を利用したCu/ガラス界面の常温接合
寺岡暁, 渡邉満洋, 近藤英一
第28回エレクトロニクス実装学会春季講演大会, 東京, 2014. 3/5−7.
長尺カーボンナノチューブ作製用ナノ触媒金属埋め込み法の検討
長田和真, 渡邉満洋, 近藤英一, 大久保総一郎, 日方威, 中山明
表面技術協会第129回講演大会, 千葉, 2014. 3/13−14.
超臨界CO2流体中におけるCu薄膜の凝集ならびに拡散挙動
渡邉満洋, 中村良輝, 近藤英一
応用物理学会第61回応用物理学会春季学術講演会, 神奈川, 2014. 3/17−20.
新規低温分解1価Cu原料を用いた超臨界流体中Cu堆積
Md Rasadujjaman, 渡邉満洋, 須藤弘, 町田英明, 近藤英一
電気化学会電解科学技術委員会第24回電極材料研究会, 山梨, 2014. 7/25.
新しい金属薄膜・ガラス常温接合
渡邉満洋, 近藤英一
平成26年電気学会電子・情報・システム部門大会, 島根, 2014. 9/3−6.
新規1価Cu原料を用いたRuライナートレンチへのCu埋め込み
Md Rasadujjaman, 渡邉満洋, 近藤英一, 須藤弘, 町田英明
平成26年電気学会電子・情報・システム部門大会, 島根, 2014. 9/3−6.
基板表裏面間差圧を用いたウェハレベル超臨界Cu均一成膜
渡邉満洋, 植野隆大, 近藤英一, 山本敏, 末益龍夫
第75回応用物理学会秋季学術講演会, 北海道, 2014. 9/17−20.
Supercritical Fluid Chemical Deposition of Cu in Ru-lined Deep Nanotrenches using a New Cu(I) Amidinate Precursor
Md Rasadujjaman, Mitsuhiro Watanabe, Hiroshi Sudoh, Hideaki Machida, and Eiichi Kondoh
第75回応用物理学会秋季学術講演会, 北海道, 2014. 9/17−20.
基板面間差圧を利用した貫通電極めっき用装置
植野隆大, 渡邉満洋, 近藤英一
表面技術協会第130回講演大会, 京都, 2014. 9/22−23.
超臨界流体を用いたZnO薄膜堆積とそのCu密着層としての利用
爲國成昭, 渡邉満洋, 近藤英一
表面技術協会第130回講演大会, 京都, 2014. 9/22−23.
超臨界CO2流体中におけるCu薄膜の凝集ならびに拡散挙動
中村良樹, 渡邉満洋, 近藤英一
応用物理学会SC東海地区学術講演会2014, 愛知, 2014. 11/8.
ZnOを密着層として用いたガラス/Cu構造の密着性とナノ組織
渡邉満洋, 寺岡暁, 鍋谷暢一, 近藤英一
日本機械学会関東支部第19期総会講演会, 東京, 2013. 3/15−16.
ナノ級厚金属酸化物層を用いたCu/ガラス構造の密着性改善
渡邉満洋, 寺岡暁, 近藤英一
表面技術協会第127回講演大会, 埼玉, 2013. 3/18−19.
超臨界CO2を利用したナノ微細構造体へのNiの埋め込み
長田和真, 渡邉満洋, 近藤英一
表面技術協会第127回講演大会, 埼玉, 2013. 3/18−19.
超臨界流体中Cu薄膜堆積のその場分光エリプソメトリ解析（第3報）
近藤英一, 五味瞭太, 田部井寛幸, 渡邉満洋, 金蓮花
第60回応用物理学会春季学術講演会, 神奈川, 2013. 3/27−30.
生体のネットワーク解探索機能を活用した配線構造の提案と生体メタライズ
近藤英一, 渡邉満洋, 望月裕文, 後藤利章
応用物理学会第60回応用物理学会春季学術講演会, 神奈川, 2013. 3/27−30.
超臨界CO2流体を利用した白金合金ナノ粒子担持
渡邉満洋, 近藤英一
電気化学会電解科学技術委員会第23回電極材料研究会, 山梨, 2013. 7/26.
分光エリプソメトリを利用したPt堆積のその場測定
後藤利章, 渡邉満洋, 近藤英一
電気化学会電解科学技術委員会第23回電極材料研究会, 山梨, 2013. 7/26.
超臨界流体を利用した3次元高アスペクト貫通孔内への均一Cu被覆
植野隆大, 竹内裕人, 松原正弘, 渡邉満洋, 近藤英一, 山本敏, 末益龍夫
化学工学会第45回秋季大会, 岡山, 2013. 9/16−18.
Cu/ZnO/ガラス構造の高密着化におけるZnO/ガラス界面の影響
渡邉満洋, 寺岡暁, 近藤英一
表面技術協会第128回講演大会, 福岡, 2013. 9/24−25.
超臨界流体を利用した3次元屈曲貫通孔への均一Cu膜堆積
渡邉満洋, 竹内裕人, 近藤英一
日本機械学会関東支部第18期総会講演会, 千葉, 2012. 3/9−10.
超臨界CO2を用いて成膜したNi薄膜の成膜特性
長田和真, 渡邉満洋, 近藤英一
表面技術協会第125回講演大会, 東京, 2012. 3/13−14.
超臨界CO2を用いた多孔質カーボン表面へのPt-Ru超微粒子担持
渡邉満洋, 秋本竜昇, 近藤英一
化学工学会第77年会, 東京, 2012. 3/15−17.
超臨界流体中Cu薄膜堆積過程のその場分光エリプソメトリ解析（第2報）
佐々木拓哉, 田部井幸寛, 植野隆大, 渡邉満洋, 金蓮花, 近藤英一
化学工学会第77年会, 東京, 2012. 3/15−17.
超臨界流体中Cu薄膜堆積のその場分光エリプソメトリ解析（第2報）
佐々木拓哉, 田部井幸寛, 植野隆大, 渡邉満洋, 金蓮花, 近藤英一
応用物理学会第59回応用物理学関係連合講演会, 東京, 2012. 3/15−18.
超臨界CO2を用いた金属超微粒子/多孔質カーボン複合体の作製
渡邉満洋, 秋本竜昇, 近藤英一
日本金属学会第150回春期大会講演, 神奈川, 2012. 3/28−30.
Glass/ZnO基板上への金属薄膜堆積と密着性
寺岡暁, 渡邉満洋, 鍋谷暢一, 近藤英一
表面技術協会第126回講演大会, 北海道, 2012. 9/27−28.
生体組織を利用した金属配線形成の試み
望月裕文, 渡邉満洋, 近藤英一
表面技術協会第126回講演大会, 北海道, 2012. 9/27−28.
超臨界CO2を用いた多孔質カーボン上への金属微粒子担持
秋本竜昇, 渡邉満洋, 近藤英一
化学工学会第76年会, 東京, 2011. 3/22−24.
超臨界CO2を用いた高アスペクトマイクロ孔への均一Cu被覆
竹内裕人, 松原正弘, 渡邉満洋, 近藤英一
応用物理学会第72回秋季学術講演会, 山形, 2011. 8/29−9/2.
超臨界CO2を用いた多孔質カーボン上への金属微粒子担持における表面処理の影響
秋本竜昇, 渡邉満洋, 近藤英一
化学工学会第43回秋季大会, 愛知, 2011. 9/14−16.
超臨界CO2を利用して作製したNi/ガラス構造体の密着性と界面組織
渡邉満洋, 青山央, 近藤英一
表面技術協会第124回講演大会, 愛知, 2011. 9/21−22.
超臨界流体を用いた高アスペクト・屈曲貫通孔内のCuライニング
渡邉満洋, 竹内裕人, 松原正弘, 近藤英一
第48回X線材料強度に関する討論会, 大阪, 2011. 12/2.