Poster Award
Selective Cu fill into nanopores using supercritical carbon dioxide
Eiichi Kondoh, Yukihiro Tamegai, Mitsuhiro Watanabe, Lianhua Jin
Advanced Metallization Conference: Asian Session (ADMETA), 2015.
平成26年度科学研究費助成事業審査委員表彰
近藤英一
⽇本学術振興会, 2014.
Technical Achievement Award
Deposition of copper thin films inside complex shaped through-holes with ultra high aspect ratio using supercritical carbon dioxide
Mitsuhiro Watanabe, Yuto Takeuchi, Takahiro Ueno, Masahiro Matsubara, Eiichi Kondoh, Satoshi Yamamoto, Naohiro Kikukawa, Tatsuo Suemasu
Advanced Metallization Conference: Asian Session (ADMETA), 2014.
第15回優秀講演賞
Cu/ZnO/ガラス構造の高密着化におけるZnO/ガラス界面の影響
渡邉満洋, 寺岡暁, 近藤英一
表面技術協会, 2014.
修士論文優秀発表賞
カーボンナノチューブ成長用ナノ金属埋め込み型触媒の開発
長田和真
山梨大学大学院医学工学総合教育部, 2014.
卒業論文優秀発表賞
超臨界流体を利用したガラス基板上へのZnO堆積及び構造体の密着性評価
爲國成昭
山梨大学工学部, 2014.
人間システム工学専攻奨励賞
植野隆大
山梨大学大学院医学工学総合教育部人間システム工学専攻, 2013.
人間システム工学専攻奨励賞
長田和真
山梨大学大学院医学工学総合教育部人間システム工学専攻, 2013.
人間システム工学専攻奨励賞
寺岡暁
山梨大学大学院医学工学総合教育部人間システム工学専攻, 2013.
修士論文優秀発表賞
超臨界CO2流体を用いた多孔質炭素担体上への白金系ナノ粒子の担持
秋本竜昇
山梨大学大学院医学工学総合教育部, 2012.
修士論文優秀発表賞
3次元実装用貫通電極形成の新規プロセスに関する研究
竹内裕人
山梨大学大学院医学工学総合教育部, 2012.
卒業論文優秀発表賞
超臨界流体中一貫プロセスによる金属薄膜の堆積及び界面強度の検討
寺岡暁
山梨大学工学部, 2012.
平成23年度表面技術協会論文賞
3次元集積回路電極用Siマイクロ孔内側壁に超臨界流体を利用してCuを堆積した際の被覆特性
松原正弘, 近藤英一
表面技術協会, 2011.
人間システム工学専攻奨励賞
秋本竜昇
山梨大学大学院医学工学総合教育部人間システム工学専攻, 2011.
人間システム工学専攻奨励賞
佐々木拓哉
山梨大学大学院医学工学総合教育部人間システム工学専攻, 2011.
修士論文優秀発表賞
超臨界流体中その場分光エリプソメトリの測定技術開発と薄膜中細孔構造解析への応用
小高和也
山梨大学大学院医学工学総合教育部, 2010.
人間システム工学専攻奨励賞
玉井架
山梨大学大学院医学工学総合教育部人間システム工学専攻, 2010.
山梨科学アカデミー奨励賞
超臨界流体のマイクロエレクトロニクス応用に関する研究
近藤英一
山梨科学アカデミー, 2009.
Technical Achievement Award
A fast new approach for evaluating the connectivity of micropores (< 2 nm) and supermicropores (< 0.5 nm) in low-k thin films
E. Kondoh, S. Aruga, F. Ito, Y. Hayashi
Advanced Metallization Conference: Asian Session (ADMETA), 2009.
日本機械学会三浦賞
有賀庄作
日本機械学会, 2009.
卒業論文優秀発表賞
自己組織化2DマスクとAg触媒を併用したSiナノマシニングプロセス開発とCuナノ配線作製
玉井架
山梨大学工学部, 2009.
研究業績
Publications